IEST推奨慣行 RP-CC006.3, 2004: Testing Cleanrooms

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IEST推奨慣行 RP-CC006.3, 2004

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Description

This RP provides standardized test procedures for determining cleanroom and clean zone performance. It is intended to assist with preparing detailed specifications for cleanroom procurement and for assuring operational compliance. Performance tests are recommended for cleanrooms in three operational phases. Data gathered through testing can be used to establish baselines, track trends, and justify repairs. The test methods may also be used for periodic monitoring of cleanroom performance.

書名	IEST RP-CC006.3: Testing Cleanrooms IEST推奨慣行 RP-CC006.3: 試験用クリーンルーム
発行元	IEST (Institute of Environmental Sciences and Technology)
発行年／月	2004年8月
装丁	ペーパー
ページ数	27 ページ
発送予定	1-2週間以内に発送します