IEST推奨慣行 RP-CC012.4, 2023: Considerations in Cleanroom Design

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IEST推奨慣行 RP-CC012.4, 2023

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Description

This Recommended Practice (RP) makes recommendations regarding factors to consider in the design of cleanroom facilities. This discussion is limited to those environmental conditions that typically confront cleanroom designers and users. It is intended to provide users with factors to consider for cleanroom design, but discussion of these factors is not intended to be all-inclusive. The specified ranges and recommended criteria are intended only to provide a framework. Specific processes or other needs may dictate requirements beyond the scope of this document.

書名	IEST RP-CC012.4: Considerations in Cleanroom Design IEST推奨慣行 RP-CC012.4: クリーンルーム設計における留意点
発行元	IEST (Institute of Environmental Sciences and Technology)
発行年／月	2023年8月
装丁	ペーパー
ページ数	100 ページ
発送予定	1-2週間以内に発送します